Производитель:

Ионный Имплантер IMC-200 компании IBS (France)

Спецификация:

Газовые линии

• Линия 1 : (HP) –Neutral
• Линия 2 :(HP) – BF₃
• Линия 3 : (HP) – Ar
• Линия 4 : (HP) – N₂

Источники

• 2 x источника ионов типа Freeman

Диапазон энергий

• 30 кеВ - 200 кеВ для однозарядных ионов

Загрузка

• Ручного типа (4 пластины на цикл откачки)
• Пластины от 50 до 150 мм

Фото установки

Внешний вид:

Карусель и источник:

Загрузка пластин на карусель: