СКРУББЕРЫ

Для обеспечения безопасной работы и защиты персонала от воздействия опасных газов применяются системы кондиционирования газов или скрубберы. Мы предлагаем три модели линии  EasyExhaust™ от нашего поставщика – компании CVD Equipment Corp:

• BurnBox  – разлагает выходящие газы термическим способом. Стандартно работает с газами: СО, С2Н2, С2Н4, СН4, Н2

• WetScrubberмодели 405– система водяной фильтрации и охлаждения выходящих газов. Стандартно работает с газами: BBr3, BCl3, Cl2, F2, H2S, H2Se, HBr, HCl, HF, NH3, POCl3

• Pyrolizer/Wet Scrubber модели 410 и 610– вначале разлагает выходящие газы термическим способом, производит их оксидацию и использует систему водяной фильтрации и охлаждения выходящих газов/ Стандартно работает с газами: B2H6, BBr3, BCl3, Cl2, CO, F2, GeH4, H2, HBr, H2S, HCl, HF, H2Se, Nh3, SiH4, PH3, POCl3, металорганикой типа DEZ, TMA, SiCl4, TCS и др.

Брошюра на англ. языке: EES_Scrubber_410_610.pdf

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.