КриосистемыСайт компании: www.cryosystems.ru |
![]() |
CVDlab 40_1100
CVDlab 50_1100
CVDlab 60_1100
CVDlab 90_1100
Отвечая на запросы рынка, и, принимая во внимание тенденцию к импортозамещению, наша компания начала разрабатывать и производить небольшие бюджетные установки для осаждения покрытий с 2013 года. Для роста углеродных нанотрубок и графена мы предлагаем серию установок газо-фазного осаждения CVDLab.
CVDLab – бюджетная, простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Может быть выполнена как для работы в автоматическом режиме с применением ПЛК-контроллеров фирмы Siemens, таки в полностью ручном режиме. Эта простая в использовании система позволяет работать с различными газами, проводить процессы при атмосферном давлении, в вакууме и небольшом избыточном давлении.
Область применения:
Установка модели CVDLab используется для отработки процессов и выпуска малых партий, ее основные применения синтез 2D материалов: углеродных нанотрубок, графена, MoS2.
Стандартная спецификация:
- Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе ПЛК Siemens.
- Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, графена и др.
- 1, 2-хили 3-зонная (опция) резистивная печь для температур до 1050/1100 °С.
- Ручная загрузка образцов.
- Кварцевая реакционная камера, система напуска газа, термопара.
- Одинарное вакуумное уплотнение по фланцам реактора.
- Газовые линии с расходомерами – 1-4 шт, и до 8 (опционально).
- Гарантия 12 месяцев.
- Интуитивно понятное ПО и система защиты или ручной режим работы.
Технические характеристики:
Рабочая камера | Кварц, размеры (Диам х Дл): 40/50/60/90 х 1000 мм |
Печь | 1-зонная, Кантал, Макс. 1050 °С и до 1200°С |
Вакуумный насос | 180/200 л/мин, пластинчато-роторный |
Рабочие газы | Аргон-1000 мл/мин, H2-100 мл/мин, CH4-200 мл/мин |
Управление | Ручной режим или с управлением через сенсорный экран PLC |