Травление ICP-RIESAMCO
Глубокое реактивно-ионное травление с использованием индуктивно-связанной плазмы (ICP-RIE)
 |
RIE-600iP |
|
Работа с подложками до 150 мм Загрузочная камера Стабильная обработка при высоких ВЧ мощностях и низком давлении Мощная вакуумная откачка Нижний электрод перестраивается по высоте Электростатический прижим ESC |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-600iPC |
|
Работа с подложками до 150 мм Работа с кассеты на кассету Стабильная обработка при высоких ВЧ мощностях и низком давлении Мощная вакуумная откачка Нижний электрод перестраивается по высоте Электростатический прижим ESC |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-400iP |
|
Работа с подложками до 100 мм Загрузочная камера Стабильная плазма при низких мощностях и давлении Активное управление температурой |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-330iPC |
|
Работа с подложками 3 х 150 мм Подожкодержатель Ø 330 мм Работа с кассеты на кассету Кассета содержит 5 треев с подложками Электростатический прижим ESC Охлаждение гелием с обратной стороны |
|
 Подробнее |
|
 |
RIE-101iPH |
|
Работа с подложками до 100 мм Загрузочная камера Совместима с хлоридами и фторидами Система ICP травления R&D типа |
|
| Подробнее |
|
 |
RIE-100iPC |
|
Низкая стоимость владения, компактная Работа с подложками до 200 мм Производство ПАВ-устройств Активное управление температурой |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-200iP |
|
Работа с подложками до 1500 мм (опция до 200 мм) Загрузочная камера Совместима с хлоридами и фторидами Система ICP травления R&D типа |
|
| Подробнее |
|
 |
RIE-200iPC |
|
Работа с подложками до 200 мм Работа с кассеты на кассету Кассета содержит 25 х 150 мм подложек Электростатический прижим ESC Охлаждение гелием с обратной стороны |
|
| Подробнее |
Основные системы и установки:
- Травление RIE
- Травление ICP RIE
- Бош-травление (DRIE)
- XеF2-травление
- MOCVD
- PECVD
- LS-CVD
- Очистка плазмой
- Очистка УФ/озоном
Дополнительная информация:
- Технологии: Травление
- Технологии: CVD
- Технологии: Очистка (плазма и УФ)
- Элементы CVD-систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
