Реактивно-ионное травление RIESAMCO
 |
RIE-1C |
|
Настольная система |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-10NR |
|
Запись многошаговых рецептов Работа с подложками до 200 мм Компактная
|
|
| Подробнее | |
 |
RIE-200NL |
|
Система сухого травления с загрузочной камерой Работа с подложками до 200 мм Запись многошаговых рецептов Небольшие габариты |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-300NR |
|
Полный автомат Работа с подложками до 300 мм Запись многошаговых рецептов Сертифицирован SEMI-S2 |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-100C |
|
Работа с подложками до 200 мм Запись многошаговых рецептов Работа с кассеты на кассету Полная автоматизация Высокая производительность |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-200C |
|
Работа с подложками до 200 мм Рабочая камера из нержавеющей стали Работа с кассеты на кассету Роботизированная подача |
|
| Подробнее | |
 |
RIE-200LC |
|
Работа с подложками до 200 мм Работа с кассеты на кассету
|
|
| Подробнее | |
 |
RIE-6000 |
|
Работа с подложками до 600 х 600 мм Высокая производительность ВЧ генератор на 5 кВт До 4 газовых линий |
|
| Подробнее |
Основные системы и установки:
- Травление RIE
- Травление ICP RIE
- Бош-травление (DRIE)
- XеF2-травление
- MOCVD
- PECVD
- LS-CVD
- Очистка плазмой
- Очистка УФ/озоном
Дополнительная информация:
- Технологии: Травление
- Технологии: CVD
- Технологии: Очистка (плазма и УФ)
- Элементы CVD-систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
