Alfa 120Nordiko

Вакуумная установка травления направленным ионным пучком тонких пленок, металлов, полупроводниковых пластин и др. образцов

Взяв за основу свой более чем 20-и летний опыт создания систем травления ионным пучком на базе ВЧ-технологии компания Nordiko разработала и выпустила на рынок установку серии Nordiko α120. Процессный модуль представляет собой изолированную вакуумную камеру с передней полнооткрываемой дверью, на камере смонтирован источник ионного потока с большой апертурой, внутри камеры манипулятор для подложек. Источник ионов может быть использован для генерации ионов аргона при ускоряющем напряжении от 100 до 600 В. Манипулятор подложек водоохлаждаемый с функцией осевого вращения подложек и возможностью изменения угла его наклона по отношению к ионному пучку.

Особенности:

Компактная система
Конфигурация изменяется легко под требования заказчика
Ионный источник 15, 20, 25 см
Нейтрализатор без накального катода
Манипулятор гибко конфигурируется
Высокопроизводительный сухой вакуумный насос

Опции:

Криогенная откачка
Травление с применением реактивного газа (RIBE, CAIBE)
Определение точки окончания процесса травления по анализу вторичных ионов SIMS
Вакуумная загрузочная камера
Полная автоматизация

Брошюра на англ. языке: alpha120_broshure.pdf

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

Травление ионнным пучком (IBE, CAIBE, RIBE)
Магнетронное распыление (PVD)
Распыление ионным пучком с переосаждением материала на подложку (IBD)

Дополнительная информация:

Технологии травления ионным пучком
Элементы ваккумных систем
Расходные материалы

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.