ЭПИТАКСИЯ (Molecular Beam Epitaxy)

Молекулярно-лучевая эпитаксия (МВЕ) – это послойный рост пленки на образце материала на уровне атомного слоя в сверх-высоком вакууме. Преимуществом такого метода осаждения материала на поверхности образца является высокая  контролируемость процесса роста. Наносить эпитаксиальные пленки в вакууме возможно несколькими методами – МВЕ, PLD, CVD, PVD. Но часть этих методов имеет некоторые ограничения и для создания высококачественных эпитаксиальных структур наиболее часто используют процесс называемый Молекулярно-лучевая (или Молекулярно-пучковая ) эпитаксия.

Компания Криосистемы работает с двумя производителями оборудования для  Молекулярно-лучевой эпитаксии:

• SVTA  (США)
• AdNaNoTek (США-Тайвань)

На нашей базе создан сервис-центр по внедрению и обслуживанию поставляемого оборудования, обучению дилеров и пользователей.

Подробнее о компании

Основные выпускаемые системы и технологии:

• Молекулярно-лучевая эпитаксия MBE
• Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
• Атомно-слоевое осаждение ALD Systems
• Металл-органического газо-фазного осаждения MOCVD
• Установки для расщепления пластин и пассивации граней

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

• Эффузионные источники
• Вентильные источники материалов
• Электронно-лучевые источники
• Нагреватели подложек
• Манипуляторы подложек
• Газовые инжекторы
• Источники атомарных потоков для О2, Н2, N2
• Источники плазмы
• Системы подачи озона

Средства и модули характеризации пленок:

• Атомно-абсорбционные спектрометры
• RHEED - Дифракция быстрых электронов на отражение
• Пирометры
• Катодолюминесценция

  Подробнее о компании

Основная область деятельности компании AdNaNoTek:

• Молекулярно – лучевая эпитаксия MBE
• Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
• Комбинированные UHV системы Integated Systems
• Системы физического паро-осаждения PVD Системы

Основные выпускаемые системы:

• Laser MBE Pro (PLD-18)
• Compact Laser MBE
• MBE-10
• IBSD распыления материалов ионным пучком и осаждения его на подложку
• Система осаждения
• Электронно-лучевая система осаждения пленок

Комбинированные системы:

• MBE - PLD – SPUTTER (Молекулярно-пучковая эпитаксия – Лазерная абляция)

• IBSD – PLD (Осаждение при распылении ионным пучком и лазерная абляция)

• PLD – SPUTTER(Лазерная абляция)

• Системы сконфигурированные специально под задачи заказчика

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

• UHV манипуляторы подложек
• UHV Манипуляторы подложек с лазерным нагревом
• OLED испарители