Серия установок SMART PLD |
Серия установок пульсационно‐лазерного осаждения SMART PLD (Scientific Materials & Applied Research Tool) является уникальной по дизайну и применяется для решения исследовательских и экспериментальных задач. Комбинация лазерной абляции с другими технологиями испарения позволяет работать с широким спектром материалов и обеспечивает возможность применения во многих технологических процессах. Благодаря использованию шести вращаемых мишеней, установка позволяет получать многослойные тонкопленочные структуры. Опциональные in‐situ инструменты мониторинга дают возможность пользователю точно контролировать процесс. Загрузочная камера для перемещения подложек позволяет совместить установку SMART PLD с другими системами осаждения и метрологии.
Модель SMART NanoTool PLD-01
Базовая система
Полнооткрываемая дверь диаметром 355 мм.
Турбомолекулярный насос 300 л/с, широкодиапазонный вакуумный датчик.
Манипулятор мишеней (6 х 25 мм или 4 х 50 мм), вращение, индексация, перемещение Z.
Манипулятор подложек: образец 25 или 50 мм в диаметре, нагрев до 850°С (опция 1000°С), вращение, перемещение Z.
Пакет автоматизации процессов.
Подробные характеристики на русском языке в брошюре:SVTA_SMART_NanoTool_PLD.pdf
Брошюра на англ. языке:PLDNanoToolProductSheet.pdf
Модель SMART NanoTool PLD-02
Базовая система
Вакуумная UHV камера вертикального типа.
6 индексируемых мишеней.
Высокомощный эксимерный лазер.
Полностью компьютерная система управления.
Множественные источники испарения.
Источник ВЧ плазмы.
Эффузионные ячейки.
Электронно-лучевая пушка.
Система подачи высокочистого озона.
Система замера температуры внешним пирометром.
Система наблюдения за толщиной и скоростью роста пленки.
Атомно-абсорбционный спектрометр наблюдения за потоком испаренного в-ва.
RHEED-система.
Передовая система откачки.
Основные выпускаемые системы и технологии:
- Молекулярно-лучевая эпитаксия MBE
- Пульсационно-лазерное осаждение PLD Systems
- Атомно-слоевое осаждение ALD Systems
- Металл-органического газо-фазного осаждения MOCVD
- Установки для расщепления пластин и пассивации граней
Основные выпускаемые продукты и компоненты:
- Эффузионные источники
- Вентильные источники материалов
- Электронно-лучевые источники
- Нагреватели подложек
- Манипуляторы подложек
- Газовые инжекторы
- Источники атомарных потоков для О2, Н2, N2
- Источники плазмы
- Системы подачи озона
Средства и модули характеризации пленок:
- Атомно-абсорбционные спектрометры
- RHEED - Дифракция быстрых электронов на отражение
- Пирометры
- Катодолюминесценция
Дополнительная информация:
- Технологии PLD
- Элементы ваккумных систем
- Расходные материалы
Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.
