CriterionCHA Industries

Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Criterion

Пилотные исследования, применения R&D, университетские задачи – вот области, где может использоваться установка серии Criterion.

Область применения:

Установка модели Criterion имеет относительно небольшие габариты для системы, оснащенной загрузочным шлюзом и с изолированным источником (опции). Установка имеет уникальную конструкцию рамы и рабочей камеры, позволяющую размещать различные источники и их комбинации и дополнительное оборудование.

Применение: обучение, исследования и разработки, мелкосерийное производство.

Техническая спецификация:

• Вакуумная камера
• Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением
• Размер: 584 х 508 х 660 мм (Г х Ш х В)
• Объем камеры: 190 л
• Расстояние до источника: 457 мм
• Подложкодержатели
• Планетарного типа (образцы: 3 x 150мм / 5 x 125мм/ 7 x 100мм/ 10 x 75мм)
• Lift-off (образцы:  9 x 100мм / 12 x 75мм)
• C изменяемым углом (образцы 3 х 150 мм / 5 х 125 мм / 7 х 100 мм / 9 х 75 мм)
• Насосы
• Диффузионный вакуумный насос (1550 л/с)
• Турбомолекулярный вакуумный насос (1450 л/с )
• Криогенный насос (1500 л/с)
• Система управления
• Ручное
• PLC - Сенсорный экран от Siemens
• Источники
• Электронная пушка: 4 x 25см³/4 x 40см³/ 6 x 15см³/ 6 x 25см³
• Резистивный источник
• Термический источник с поворотом
• Ассистирование ионным пучком

Полнее про модель Criterion: http://www.chaindustries.com/criterion.html

Основные системы и установки CHA Industries:

• Mark 50
• Solution
• Resolution
• Criterion
• SEC-600/1000
• SSC-1000

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

• Термическое испарение
• Магнетронное распыление
• Электронно-лучевое испарение
• Электронно-лучевые источники
• Источники питания испарителей
• Вакуумные вводы и подложкодержатели

Дополнительная информация:

• Технологии вакуумного напыления тонких пленок
• Элементы ваккумных систем
• Расходные материалы

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.