RESOLUTIONCHA Industries

Вакуумная электронно-лучевая установка нанесения тонких пленок, модели Resolution

CHA Industries в 2008 году вывела на рынок очередную модель – Resolution.
Ее особенность – горизонтальная камера как у моделей серии MARK, но обе двери, передняя и задняя вешаются на петлях.

Область применения:

Установка может применяться для средне и мелкосерийного производства, там где не требуется  сверхвысокой производительности. Гибкий инструментарий установки дает возможность использования ее и для R&D применений.

Техническая спецификация:

• Вакуумная камера
• Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением
• Размер: 813 х 813 мм
• Расстояние до источника: 727 мм
• Подложкодержатели
• Планетарного типа (с тремя полусферами)
• Lift-off
• C изменяемым углом
• Насосы
• Диффузионный вакуумный насос
• Турбомолекулярный вакуумный насос
• Криогенный насос
• Система управления
• PLC + Сенсорный экран
• PC/PLC
• Источники
• Электронная пушка
• Резистивный источник
• Резистивный источник с поворотом
• Ионный источник

Брошюра на англ. языке на модель resolution: cha_resolution_specs.pdf

Основные системы и установки CHA Industries:

• Mark 50
• Solution
• Resolution
• Criterion
• SEC-600/1000
• SSC-1000

Основные выпускаемые продукты и компоненты:

• Термическое испарение
• Магнетронное распыление
• Электронно-лучевое испарение
• Электронно-лучевые источники
• Источники питания испарителей
• Вакуумные вводы и подложкодержатели

Дополнительная информация:

• Технологии вакуумного напыления тонких пленок
• Элементы ваккумных систем
• Расходные материалы

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.