Системы очистки поверхности плазмой (SAMCO Plasma)SAMCO

Системы очистки плазмой предназначены для очистки поверхностей различных образцов, микросхем, контактов и др.
Решения компании SAMCO включают оборудование для исследовательских применений R&D и оборудование с высокой производительностью для производственных задач

	PC-300
	Настольная система Режим травления и очистки в плазме Многошаговые рецепты очистки Хранение до 100 рецептов Очистка пластиковых элементов Удаление органики
	Подробнее
	PC-1100
	Компактная система Режим травления, очистки в плазме, обратного потока Несколько полок для образцов Многошаговые рецепты очистки Хранение рецептов
	Подробнее
	PXA-100
	Образцы до 50х200 мм Очистка рамок микросхем с выводами Высокая производительность (12 сек на подожку) Сенсорный экран с дружелюбным интерфейсом
	Подробнее
	PC-5000
	Очистка стеклянных поверхностей Обработка образцов до 500 х 500 мм Великолепная однородность
	Подробнее

Основные системы и установки:

• Травление RIE
• Травление ICP RIE
• Бош-травление (DRIE)
• XеF2-травление
• MOCVD
• PECVD
• LS-CVD
• Очистка плазмой
• Очистка УФ/озоном

Дополнительная информация:

• Технологии: Травление
• Технологии: CVD
• Технологии: Очистка (плазма и УФ)
• Элементы CVD-систем
• Расходные материалы

Запрос на интересующее оборудование Вы можете прислать нам по адресу: tech@cryosystems.ru или по факсу +7 (495) 663-3039 для отдела оборудования для микро- и наноэлектроники и мы вышлем Вам коммерческое предложение или предоставим дополнительную информацию в разумные сроки.