Задача Заказчика:
Получение углеродных нанотрубок при использовании как газообразных, так и жидких источников углерода - метанола, бензола и др.
Решение, предложенное Заказчику:
Специально под задачи заказчика был разработана полностью автоматическая экспериментальная CVD-система, с вакумной камерой-реактором с "холодными стенками"
Фото реактора:
Краткая спецификация установки
Вакуумная водоохлаждаемая камера-реактор с холодными стенками
Подложкодерждатель для образцов с размерами 25 х 25 или 25 х 50 мм
Нагрев подложкодержателя до 1100°С
5 газовых линий
Испаритель-барботер для жидких прекурсоров
2 емкостных датчика
Автоматический дросселирующий клапан
Криоловушка на выходе реактора
Пластинчато-роторный насос
Шкаф управления с сенсорным экраном и контроллерами
Фото экрана управления
Проект включал в себя не только разработку и создание CVD-установки для синтеза нанотрубок, но также и разработку процесса их роста и технологию создания и нанесения катализатора на подложки.
В процессе разработки базового рецепта роста нанотрубок для заказчика были получены промежуточные результаты.
Для проверки результатов применялись изображения с электронного микроскопа и спектры комбинационного рассеяния света.
Отдельные промежуточные результаты экспериментов Вы можете посмотреть в следующей таблице: