Задача Заказчика:
Недорогая установка под ключ для нанесения тонких пленок в вакууме с широкими возможностями в области использования разных источников, включая возможность нанесения органических материалов.
Данная установка модели MiniLab-026 изготовлена английской компанией Moorfield.
В ней установлены 2 источника термического испарения с мишенью 50 мм, LTE источник для работы с органическими соединениями, установка автоматизирована, оператор управляет машиной через удобный и интуитивно-понятный интерфейс
Решение, предложенное Заказчику:
Установка компании Moorfield серии MiniLab 026.
Фото установки:
Краткая спецификация установки:
| Камера: | Типа колпак, откидная на петлях |
| Источники: | – 1 шт Термический источник для органики – 1 шт Термический источник – 1 шт |
| Контроль за процессом: | Кварцевый контроллер типа Sigma Q-Pod Один водоохлаждаемый кварцевый датчик |
| Откачка: | Турбомолекулярный насос производительностью 360 л/с |
| Временная точность: | Двухступенчатый форвакуумный пластинчато-роторный насос производительностью 8 м3/ч |
