Задача Заказчика:
Заказчику требовалась установка для осаждения тонких пленок для исследования высоко-температурных сверх-проводников. Ставилась задача напыления пленок на образца как с их нагревом в вакууме, так и охлаждением до температуры – 30° С.
.
Решение, предложенное Заказчику:
Установка модели TFDS-462B изготовленная израильской компанией VST. Установка имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, ионную пушку и специальный подложкодержатель с возможностью охлаждения образцов до -30oС и поворотом образца на угол ±90o по отношению к источнику. Откачка полностью сухая и состоит из криогенного насоса и спирального насоса японской компании Anest Iwata. Установка имеет загрузочную камеру для подачи образцов, в которой образцы могут подвергаться стадии оксидации поверхности.
Фотографии поставленной установки:
