Задача Заказчика:
Заказчику требовался инструмент для характеризации тонких металлов, диэлектриков осаждаемых методом испарения мишеней материалов лазером в установке лазерной абляции.
Задача состояла еще в том, чтобы интегрировать этот масс-спектрометр в существующую установку пульсационно-лазерного осаждения поставленную нашей компанией ранее этому заказчику. Проблема состояла в том, что напыление тонких пленок в установке PLD идет снизу, а стандартный масс-спектрометр проводит анализ пленок сверху. На первом этапе разрабатывалась промежуточная вакуумная камера для переворота образцов, затем от этого варианта отказались и решили перевернуть сам масс-спектрометр.
Решение, предложенное Заказчику:
Стационарный время-пролетный масс-спектрометр от известного производителя английской компании Kore technology в инвертном исполнении.
Краткая характеристика предложенного инструмента:
- Анализ проводников и диэлектриков
- Анализ положительных и отрицательных вторичных ионов
- Разрешение лучше чем 2000 M/ΔM (возможно до 3000 )
- Диапазон исследуемых масс >1000m/z
- Возможность распыления образца для очистки поверхности
Ниже место расположения масс-спектрометра показано схематично
между загрузочной камерой установки PLD и установкой атомно-слоевого осаждения:
Фотографии и схема прибора:
Фото установленного прибора в БФУ им. И. Канта:
