Задача Заказчика:
Термическое нанесение покрытий хрома в вакууме.
Решение, предложенное Заказчику:
Установка термического испарения хрома модели TES-160, производства нашей компании
Краткая спецификация установки
Вакуумная камера объемом примерно 35 литров с передним окном наблюдения
Подложкодерждатель с изменяемым расстоянием подложка-источник и вращением
Нагрев подложкодержателя до 300-350°С
Два источника термического испарения металлов.
Заслонка для источников термического испарения
Блок питания источника.
Турбомолекулярный насос HiPace 80.
Фото установки
Подложкодержатель с нагревом ИК-лампами с обратной стороны
Источники испарения
Ввод в эксплуатацию установки TES-160